La pulvérisation cathodique est un procédé utilisé dans le cadre du dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des couches minces sur un substrat. Elle implique l'éjection d'atomes de la surface d'un matériau cible lorsqu'ils sont frappés par des particules à haute énergie, généralement des ions provenant d'un plasma. Voici une explication détaillée du fonctionnement de la pulvérisation cathodique :
Formation du plasma :
Le processus commence par l'introduction d'un gaz noble, généralement de l'argon, dans une chambre à vide. La pression à l'intérieur de la chambre est maintenue à un niveau spécifique, généralement jusqu'à 0,1 Torr. Une source d'énergie DC ou RF est ensuite utilisée pour ioniser l'argon, créant ainsi un plasma. Ce plasma contient des ions argon et des électrons libres, qui sont en quasi-équilibre.Bombardement ionique :
Dans l'environnement du plasma, les ions argon sont accélérés vers le matériau cible (cathode) par l'application d'une tension. La cible est le matériau à partir duquel les atomes doivent être pulvérisés. Lorsque ces ions frappent la cible, ils transfèrent leur énergie aux atomes de la cible, ce qui entraîne l'éjection de certains d'entre eux de la surface. Ce processus est connu sous le nom de pulvérisation.
Taux de pulvérisation :
La vitesse à laquelle les atomes sont pulvérisés à partir de la cible est influencée par plusieurs facteurs, notamment le rendement de pulvérisation, le poids molaire de la cible, la densité du matériau et la densité du courant ionique. La vitesse de pulvérisation peut être représentée mathématiquement comme suit :[ \text{Taux de pulvérisation} = \frac{MSj}{pN_Ae} ]
où ( M ) est le poids molaire de la cible, ( S ) est le rendement de pulvérisation, ( j ) est la densité du courant ionique, ( p ) est la densité du matériau, ( N_A ) est le nombre d'Avogadro, et ( e ) est la charge d'un électron.Dépôt de couches minces :
Les atomes éjectés de la cible traversent le plasma et finissent par se déposer sur un substrat, formant un film mince. Ce processus de dépôt est essentiel pour les applications nécessitant des revêtements précis et de haute qualité, comme dans les écrans LED, les filtres optiques et l'optique de précision.
Pulvérisation magnétron :
