L'évaporation thermique est une méthode utilisée dans le dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des couches minces. Cependant, elle présente plusieurs inconvénients qui peuvent affecter la qualité et les performances des films déposés.
Quels sont les 3 principaux inconvénients de l'évaporation thermique ?
1. Niveaux d'impureté élevés
L'évaporation thermique entraîne souvent des niveaux d'impureté élevés par rapport aux autres méthodes de dépôt en phase vapeur (PVD). Cela s'explique par le fait que le matériau est chauffé et évaporé sous vide. Les impuretés peuvent provenir du matériau d'origine ou du processus d'évaporation lui-même, en particulier si l'environnement sous vide n'est pas optimal. Ces impuretés peuvent dégrader les performances des films, en particulier dans les applications exigeant une grande pureté, telles que l'électronique et l'optique.
2. Contrainte modérée du film
Les films déposés par évaporation thermique présentent souvent des niveaux modérés de contrainte. Ces contraintes peuvent être intrinsèques au matériau ou induites au cours du processus de dépôt. La tension du film peut entraîner des problèmes tels que la délamination, la fissuration ou la déformation du substrat, en particulier dans les applications de films minces. La gestion et la réduction de la tension du film sont essentielles pour maintenir l'intégrité et la fonctionnalité des couches déposées.
3. Densité et uniformité du film
La qualité des films déposés par évaporation thermique peut être compromise en l'absence d'améliorations spécifiques telles que des sources d'assistance ionique ou des masques d'uniformité. Sans ces éléments, les films peuvent avoir une faible densité et une mauvaise uniformité. Les films de faible densité peuvent être poreux et moins durables, ce qui affecte leurs propriétés électriques et mécaniques. Les problèmes d'uniformité peuvent entraîner des variations de l'épaisseur et des propriétés du film sur le substrat, ce qui n'est pas souhaitable dans de nombreuses applications, en particulier lorsque des propriétés de film précises et constantes sont requises.
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