En matière de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), il existe deux types principaux : le dépôt chimique en phase vapeur par plasma et le dépôt chimique en phase vapeur par procédé thermique.
Ces méthodes diffèrent sensiblement par la manière dont elles déclenchent les réactions chimiques et par les températures qu'elles requièrent pour le processus de dépôt.
2 différences clés expliquées
1. Mécanisme d'initiation des réactions chimiques
Dépôt en phase vapeur (CVD) thermique
Dans la méthode CVD thermique, les réactions chimiques nécessaires au dépôt de couches minces sont déclenchées par la chaleur.
Le substrat et les gaz réactifs sont portés à des températures très élevées, généralement de l'ordre de 1000°C.
Cette chaleur élevée permet de décomposer les gaz réactifs et de déposer le matériau souhaité sur le substrat.
Dépôt en phase vapeur par plasma (PECVD)
Le dépôt en phase vapeur par plasma, plus précisément le dépôt en phase vapeur par plasma (PECVD), utilise le plasma pour déclencher des réactions chimiques.
Le plasma est créé par l'application d'un champ électrique, qui excite les gaz réactifs et les fait réagir à des températures beaucoup plus basses que la CVD thermique.
Cette méthode consiste à ioniser les gaz, qui réagissent ensuite pour former le film souhaité sur le substrat.
2. Température requise pour le dépôt
Dépôt en phase vapeur par procédé thermique
Le dépôt en phase vapeur par procédé thermique nécessite des températures très élevées, généralement de l'ordre de 1000°C.
Ces températures élevées sont nécessaires pour activer les réactions chimiques.
Cependant, cela peut limiter les types de matériaux pouvant être déposés, car certains substrats ou matériaux peuvent être endommagés ou dégradés à des températures aussi élevées.
CVD par plasma (PECVD)
La PECVD peut fonctionner à des températures beaucoup plus basses, souvent entre 300°C et 350°C.
Cette température plus basse est importante pour le dépôt de matériaux sensibles aux températures élevées et pour les substrats qui ne peuvent pas supporter les températures élevées nécessaires au dépôt en phase vapeur par procédé thermique.
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