À des températures plus élevées, le dépôt d'atomes sur des surfaces implique plusieurs processus complexes, notamment la décomposition thermique, les réactions de surface et la migration des atomes. L'augmentation de la température accroît la mobilité des atomes, ce qui peut conduire à la formation d'un film plus uniforme et plus dense, mais introduit également le risque de réactions parasites qui peuvent conduire à la formation d'impuretés.
Décomposition thermique et réactions de surface :
À des températures plus élevées, les composés volatils de la substance à déposer s'évaporent plus facilement. Ces vapeurs subissent ensuite une décomposition thermique en atomes et molécules ou réagissent avec d'autres gaz à la surface du substrat. Ce processus est crucial car il influence directement la composition et la structure du film déposé. Par exemple, la décomposition de l'ammoniac sur une surface métallique illustre la façon dont les précurseurs moléculaires se décomposent en atomes élémentaires, qui sont essentiels à la croissance du film. La vitesse de cette décomposition, et par conséquent la vitesse de dépôt, est influencée par la température et la pression du processus.Migration et nucléation des adatomes :
Les adatomes élémentaires créés par les réactions de surface sont très mobiles à des températures élevées. Ils migrent à travers la surface du substrat jusqu'à ce qu'ils rencontrent des sites à haute énergie tels que les vides atomiques, les bords du réseau ou les sites de déformation sur les surfaces cristallines. Sur les surfaces non cristallines, d'autres types de sites de surface piègent les atomes. Cette migration et la nucléation éventuelle sur des sites spécifiques sont essentielles pour la formation d'un film uniforme et continu. Des températures plus élevées facilitent cette migration, ce qui peut conduire à une nucléation plus efficace et à une meilleure qualité de film.
Réactions parasites et impuretés :
Malgré les avantages des températures plus élevées, ces conditions augmentent également la probabilité de réactions parasites à la surface du matériau. Ces réactions peuvent produire des impuretés susceptibles d'altérer les propriétés de la couche en croissance. Par exemple, la formation de composés indésirables ou le piégeage de sous-produits peut entraîner des défauts dans le film, affectant ses propriétés électriques, mécaniques ou optiques.
Impact sur la structure et les propriétés du film :
