Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est un processus dans lequel un substrat est exposé à des précurseurs volatils qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour produire un dépôt souhaité. La température utilisée dans le dépôt chimique en phase vapeur peut varier en fonction de l'application spécifique.
Dans le cas typique de la CVD, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs volatils ayant une pression de vapeur élevée à des températures basses allant de 373 à 673 K (100 à 400 °C). Ces précurseurs peuvent être des chlorures ou des composés organométalliques. La basse température est choisie pour s'assurer que les précurseurs sont en phase gazeuse et peuvent facilement réagir à la surface du substrat pour former le dépôt souhaité.
Dans d'autres applications, telles que la distillation d'huile ou l'évaporation de solvants dans un évaporateur rotatif, des températures plus élevées sont utilisées. Par exemple, dans les alambics moléculaires à court trajet à film essuyé utilisés pour la distillation de l'huile, les températures peuvent atteindre 343 degrés Celsius (650 degrés Fahrenheit). La plage de température de distillation typique est de 130 à 180 degrés Celsius (266 à 356 degrés Fahrenheit). Dans ces systèmes, la matière première ou le solvant est réparti sur la paroi de la chambre d'évaporation et une fine pellicule se forme. Les composants les plus volatils s'évaporent et sont recueillis séparément, tandis que le composé souhaité est recueilli dans un condenseur central plus froid et à température contrôlée. L'étape finale du processus est l'élimination du solvant, qui s'effectue généralement dans un piège à froid externe séparé dont la température est également contrôlée.
Dans un évaporateur rotatif, la règle empirique du "Delta 20" est utilisée pour optimiser le processus d'évaporation. Selon cette règle, la température effective de la vapeur est inférieure d'environ 20 degrés Celsius à la température de consigne du bain chauffant. En effet, le processus d'évaporation libère de l'énergie et de la chaleur du mélange liquide. Pour une condensation efficace, la température de refroidissement au niveau du condenseur doit être inférieure d'au moins 20 degrés Celsius à la température effective de la vapeur.
Globalement, la température du dépôt chimique en phase vapeur peut varier en fonction de l'application spécifique et des précurseurs ou composés utilisés. Il est important de choisir la température appropriée pour s'assurer que le processus de dépôt ou d'évaporation souhaité se déroule efficacement.
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